多组份气体流量控制系统LFIX-4000_其他_产品

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商品详情

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产品优势/ Product advantages

多组份气体流量控制系统LFIX-4000 产品介绍

六氟化钨投加混合氢气和氩气的装置，能把三种气体按照预定比例的掺混智能化集成系统，具有将各路气体进行流量控制检测、温度控制检测、系统抽真空以及氮气吹扫等功能。
多组份气体流量控制系统LFIX-4000 产品用途

适用于CVD气相沉积设备系统，以及使用六氟化钨特殊气体的行业，主要用于表面材料的研究。
多组份气体流量控制系统LFIX-4000 应用领域

扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备、微反应装置、混气配气系统等行业。
多组份气体流量控制系统LFIX-4000 产品特点

1、精度好，自动化程度高

2、浓度可调控范围广泛

3、流量设定后可自动调节

4、可监测气体浓度超限报警

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