小编在这里给大家分享的主要是四川光刻机的主要性能指标有哪些，希望看完之后大家对于光刻机的主要性能指标有一定的了解。

光刻机的主要性能指标：

1、支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。

2、分辨率是对光刻工艺加工可以达到的*细线条精度的一种描述方式。

3、光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。

4、对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。

5、曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。

6、曝光光源波长为紫外、深紫外和极紫外区域，光源有汞灯，准分子激光器等。

相信大家看完文章之后对于四川光刻机的主要性能指标一定的了解，能够对光刻机有更深入的认识。